1、石英品质
石英制品原料为GE124,系目前品质最好的材料(AA级）； 
该材料特点为气泡少、杂质含量低。
①杂质含量
通过分光仪分析法测试微量元素组成如下（重量比，ppm）

②气泡含量

备注： Cu.Ft.立方英尺
Cu.Decimeter 立方英寸

2、适用范围
适用于各种光电、半导体专用设备(MOCVD、红光四元、蓝光等)，欢迎详谈。

3、产品制作流程

4、产品管控

石墨品质：

石墨材料来源为SGL，规格为 R6510及R6650，该类石墨材料优点是不纯物含量低。

不纯物含量(经台湾省台北材料与工程实验室测试SGS)。

1. 陶瓷材料

适用于高温环境、耐酸碱腐蚀。

2. 适用范围
薄膜、黄光、蚀刻系统部件与机械手臂。